性别：男

职称：教授

职务或社会兼职：bevictor伟德国际集团微电子技术与材料研究所副所长，河北省微电子专用材料与器件工程研究中心主任，中国电子学会传感器分会气湿敏专业委员会委员、中国微米纳米技术学会高级会员。

邮箱：pgf@hebut.edu.cn

所在部门：微电子技术与材料研究所

主讲课程：《微电子工艺》、《单片机原理及系统设计》、《电子系统设计与制作》、《微电子技术理论》

导师类型：博士生导师

 

研究方向

敏感材料制备及性能研究

微电子材料与技术

半导体测试理论与技术

 

教育背景及工作经历

1990.09-1994.07, 成都理工大学, 学士

1994.09-1997.07, 成都理工大学, 硕士

2002.09-2008.06, bevictor伟德国际集团, 博士

1997.07-2000.05, 中国石油天然气总公司东方地球物理公司（BGP）, 研究院物探地质研究中心, 工程师

2000.06-2008.11, bevictor伟德国际集团微电子技术与材料研究所, 讲师

2008.12-2013.11, bevictor伟德国际集团微电子所技术与材料研究所, 副教授

2013.12 -至 今, bevictor伟德国际集团 bevictor伟德国际集团微电子技术与材料研究所, 教授

学术论文

(1) Hao Wang; Lianjun Hu; Guanlong Cao; Rongyang Xia; Jingwei Cao; Jiangliang Zhang; Guofeng Pan*; Experimental and Computational Studies on Octyl Hydroxamic Acid as an Environmentally Friendly Inhibitor of Cobalt Chemical Mechanical Polishing, ACS Applied Materials & Interfaces, 2022, 14(24): 28321-28336

 (2) Bo Ye; Guofeng Pan*; Xueli Yang; Yuhang Qi; Qi Fang; Liunan She; Yingqi Di ; Electrochemical corrosion behavior and theoretical simulation of cobalt in chemical mechanicalpolishing process, Electrochimica Acta, 2023, 468: 143184

(3) Yingqi Di, Guofeng Pan*, Song Lv, Liunan She, Le Zhai , Yuhang Qi. Chemical mechanical polishing on cobalt-based barrier through dual functionality of salicylhydroxamic acid between the removal of copper and corrosion inhibition [J]. Electrochimica Acta, 2025.514: 145689

 (4) Junkai Shao, Xueli Yang, Yuhang Qi, Guofeng Pan*. DFT Study on a La₂O₃/Fe₂O₃/LaFeO₃-based triethylamine sensor with dual heterojunction sensitization[J]. SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL 2026. 465:140228

(5) Caixuan Sun; Hongyan Liu; Junkai Shao; Guofeng Pan*; Xueli Yang; PdO-modified ZnSnO₃ hollow rounded cubes for high-performance TEA gas sensors at low temperature, Sensors and Actuators B: Chemical, 2023, 393: 134339

科研项目

(1) 天津市科技局, 自然科学基金面上项目, 25JCYBJC01060, 先进制程集成电路钴互连化学机械平坦化及原子尺度机理研究, 2025.04-2028.03, 10万元, 在研, 主持

(2) 河北省自然科学基金委, 自然科学基金面上项目, F2024202041, 面向低浓度三乙胺检测的高性能金属氧化物半导体气体传感器及其选择性增敏机理研究, 2024.01-2026-12，6万元, 在研, 主持

(3) 国家科技重大专项课题，2009ZX02308-004，新型碱性 CMP 抛光液及清洗剂检测方法及检测标准的研究，2009.01-2012.12，271.58 万元，结题，主持

(4) 石家庄科技局, 石家庄市科技合作专项重点项目, SJZZXB23003, 集成电路铜通孔平坦化技术与材料,2023.01- 2025-12, 152万元, 结题, 主持

获奖情况

2026年，高端芯片新型互连金属化学机械抛光的腐蚀与表面调控机理, 获中国腐蚀与防护学会自然科学一等奖

2009年，传感器制备及检测技术, 获河北省自然科学三等奖

2004年，传感器特性检测及质量控制的理论研究, 获河北省自然科学三等奖