李薇薇
时间：2017-03-10 来源：bevictor伟德国际集团信息工程公司 作者： 访问量：
李薇薇
性别：女
职称：副教授
所在部门：电子科学与技术系
导师类型：硕士生导师
主讲课程：集成电路原理及设计 微电子工艺
研究方向
主要从事微电子、光电子材料、集成电路工艺，器件性能提升与改进，分子动力学仿真等方面的研究。
教育背景与工作经历
1996.09-2000.06 bevictor伟德国际集团 本科；
2000.09-2003.02 bevictor伟德国际集团 硕士研究生；
2003.09-2006.06 bevictor伟德国际集团 博士研究生；
2003.07-今 bevictor伟德国际集团 教师
学术论文
1、 Numerical investigation on reducing the Auger recombination for quasi-vertical GaN-based PIN diode through reversed ITO-pGaN junction. PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE 卷: 218 期: 20 DOI:10.1002/pssa.202100046. WOS:000686504600001。
2、 基于稳定 pH 值的硅衬底晶圆抛光液成分优化，表面技术，2022，51（12）：277-284+319，Accession number: 20230213364377。
3、 蓝宝石衬底CMP中氧化硅磨粒粒度分布对抛光液体系性能影响研究，表面技术，2024，53（02）：168-174+200，Accession number:20241015665475。
4、 钽晶圆CMP抛光液成分与加工工艺参数的研究与优化，表面技术,2024，53（24）：133-143，Accession number:20250317702274。
5、 基于流固耦合的碳化硅衬底CMP过程温度场仿真分析，组合机床与自动化加工技术，2024（01）,145-149+155。
6、 超声辅助对硅晶圆CMP影响的分子动力学研究，组合机床与自动化加工技术，2026 (03) : 55-59+68。
科研项目
1、 CMP专用新型纳米磨料制备技术的研究，2013.4~2016.3 主持
2、 大尺寸蓝宝石衬底晶圆CMP浆料的研发与产业化，2018.11-2021.11 主持
3、 无边缘pGaN的空腔倾斜侧壁深紫外LED的研究，河北省自然科学基金自助项目，2020.1-2022.12，参与
4、 全覆盖混合介质层全反射镜的散射型深紫外Micro LED的研究，国家自然资金项目，2023.01-2026.12，参与
5、 SiC MOSFET器件可靠性仿真，2023.6.16-2025.6.16，主持
6、 SiC晶圆CMP工艺研究与开发，2025.8.1-2028.7.31，主持
发明专利
1、 利用电化学作用去除集成电路晶片表面污染物的方法，ZL 200610014440.8
2、 不规则形貌硅溶胶的制备及其应用，ZL201310291624.9
3、 一种蓝宝石材料表面超精密加工专用纳米浆料，ZL201410385104.9
4、 一种铝合金表面超精密加工专用纳米浆料及其制备方法，ZL201410287756.9
5、 一种用于CMP的硅溶胶的制备方法，CN107473234B
著作
1、 超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程，北京：冶金工业出版社，参编
2、 微电子技术工程——材料、工艺与测试，北京：电子工业出版社。主审
3、 微电子化学技术基础，北京：化学工业出版社，主编
4、 微电子工艺基础，北京：化学工业出版社，主编
成果
1、 ULSI制备中SiO2介质表面状态的研究，津20030657
2、 超大规模集成电路（ULSI）SiO2介质CMP机理研究，20030685
3、 集成电路硅衬底抛光片表面吸附粒子吸附状态的控制方法，津20044125
4、 铝、钽、钨、铜及氮化钛等金属纳米磨料CMP技术的研究，津20050004
5、 纳米材料在微电子技术中的应用。津20050007
6、 超大规模集成电路硅衬底化学机械研磨技术的研究，津20050005
7、 蓝宝石衬底纳米磨料CMP技术的研究，津20050006
8、 CMP专用纳米磨料生长粒径控制技术研究，津20070388
科技奖励
1、 FA/O半导体材料切削剂及技术，天津市科学技术发明二等奖
2、 固定表面高精密加工技术及专用纳米材料，天津市科学技术发明二等奖
教学奖励
1、 bevictor伟德国际集团第八届青年教师教学基本功竞赛一等奖
2、 bevictor伟德国际集团第九届青年教师教学基本功竞赛二等奖
3、 “华晟经世杯”2018年全国高等公司电子信息类专业青年教师授课竞赛决赛，全国一等奖
4、 省级一流课程《集成电路制造》虚拟仿真教学的建设与实践，校级教学成果二等奖；
5、 第八届（2024）全国老员工集成电路创新创业大赛全国一等奖优秀指导教师
6、 第八届（2024）全国老员工集成电路创新创业大赛全国三等奖优秀指导教师